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本发明属于金属合金的超精密加工技术领域，涉及金属合金研磨和化学机械抛光的超精密加工方法，特别涉及钛合金研磨及超精密抛光方法。背景技术：钛合金由于具有比重轻、比强度高、耐腐蚀性强及生物相容性好等优点，广泛应用于航空、航天、海洋、电力、石油化工、通讯、轻工、医疗等领域。钛与氧、氮、碳有极强的亲和性，容易形成钝化膜，化学性质稳定。由于与氧元素的亲和力强，钛合金的加工容易发生氧化，形成表层的陶瓷膜，加剧刀具磨损；此外，容易与高速钢等含C元素的切削刀具以及金刚石砂轮反应，使得刀具和砂轮磨损加剧，导致加工精度急剧降低，因为成为难加工材料，其超精密加工技术目前主要被欧美以及日本等发达国家垄断。钛合金的超精密加工技术是高性能装备和零件的核心关键制造技术，涉及国家安全、国防、科技和民生，因此发达国家对钛合金的超精密加工技术实行严格的封锁与限制，只能靠自主研发来实现突破。目前钛合金的超精密加工方法，主要采用的是游离磨料研磨和化学机械抛光方法，研磨液是游离的碳化硅或者氧化铝磨料，抛光液主要使用强酸、强碱或者有毒的化工试剂，这种游离磨料难以控制其运动轨迹，容易在加工表面留下较深的划痕，使得加工精度降低。强酸、。

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