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1唐兴昌;肖清华;周旗钢;闫志瑞;;Si片磨削中砂轮粒径对Si片损伤层的影响[J];半导体技术。3张银霞;单晶硅片超精密磨削加工表面层损伤的研究[D];大连理工大学;2006年4田业冰。

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